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氮化硅在使用的时候可以在很广泛的温度范围内进行使用的，并且可以直接进行化合反应就可以得到氮化硅； 也可用二亚胺合成或用碳热还原反应在1400-1450°C的氮气气氛下合成：对单质硅的粉末进行渗氮处理的合成方法是在二十世纪50年代随着对氮化硅的重新“发现”而开发出来的。也是一种用于大量贵州生产氮化硅粉末的方法。但如果使用的硅原料纯度低会使得生产出的氮化硅含有杂质硅酸盐和铁。用二胺分解法合成的氮化硅是无定形态的。
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